光学平台,电动平移台
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Company Product来源:北京微纳光科仪器(集团)有限公司时间:2023-02-25 [举报]
光学升降台的特性就是移动速度快、定位精度高、生产、行程长度远、位移方向多样化、组合的产品多样化、应用的行业领域多,科研机构的定位产品应用
激光技术中,用于光纤对接时的精密对准;
精密机械技术中,用于部件的加工及装配;
集成电路的制造中,用于超精密微定位装置及进给装置
在集成电路中,要求承载晶圆的工作台能在多维方向上进行毫米级行程内的具有纳米级定位精度的定位才能实现对直径较大的晶圆的加工制造
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